检测项目
光学性能：
- 投影畸变：径向畸变≤0.02%，切向畸变≤0.01%（ISO 9039）
- 分辨率：极限分辨率≥100线对/mm（GB/T 17432）
- 照明均匀性：视场中心与边缘照度差≤5%（ISO 13653）
- 投影屏平面度：最大偏差≤3μm/100mm（JJF 1318）
- 光轴垂直度：角度偏差≤0.001°（ISO 10360-7）
- 坐标系对齐：XYZ轴正交性误差≤1.5μm/100mm
- 重复定位精度：X/Y轴≤±0.8μm（VDI/VDE 2617）
- 载物台平移直线度：水平方向≤1μm/100mm
- 旋转轴心偏差：径向跳动≤2μm（ISO 230-1）
- 尺寸示值误差：≤(1.5+L/200)μm（L单位为mm）
- 放大倍率误差：20X时≤0.05%（GB/T 29253）
- 轮廓比对精度：边界匹配误差≤0.5μm
- 热变形系数：温度变化1℃时漂移量≤0.8μm/℃
- 振动响应：振幅5μm下测量波动≤0.3μm
- 光源稳定性：照度波动≤0.5%/小时（IEC 60529）
- 控制系统响应：指令延迟≤1ms
- 边缘探测重复性：标准圆测量σ≤0.2μm
- 数据输出一致性：DXF格式转换偏差≤0.1μm
- 激光安全：Class 1级防护（IEC 60825-1）
- 紧急制动响应时间：≤0.5秒
- 24小时漂移：XY方向≤1.2μm（ISO 230-2）
- 开机温漂：预热30分钟后变化≤0.4μm
- 自动对焦精度：景深范围内偏差≤0.3μm
- 滤光片透射率：特定波长透过率≥95%
检测范围
1. 金属切削零件： 齿轮/轴类工件的轮廓投影比对，关键检测齿形误差与圆跳动
2. 精密模具： 型腔尺寸全视场扫描，重点监测分型面配合精度
3. 电子接插件： 引脚共面性检测，要求平面度≤0.05mm
4. 光学元件： 透镜边缘倒角角度测量，角度分辨率达0.01°
5. PCB基板： 焊盘位置度验证，最小检测线宽5μm
6. 医疗器械部件： 微创手术器械的刃口几何精度检测
7. 塑料注塑件： 缩水变形量测量，需配合热变形补偿
8. 陶瓷基片： 微孔阵列位置精度，孔径公差±2μm
9. 精密量具： 标准量块尺寸溯源，测量不确定度≤0.2μm
10. 航空航天部件： 涡轮叶片型线检测，弦宽公差±3μm
检测方法
国际标准：
- ISO 10360-7 坐标测量机在影像模式下的验收检测
- ISO 9039 光学系统畸变测定方法
- ISO 230-2 机床定位精度重复性检测
- GB/T 29253-2012 光学投影仪计量特性评定
- JJF 1318-2011 投影仪校准规范
- GB/T 17432-2012 光学显微镜分辨力测试
检测设备
1. 激光干涉仪： Renishaw XL-80型（线性精度±0.5ppm，分辨率1nm）
2. 标准玻璃线纹尺： 德国Heidenhain LC181（长度200mm，刻线误差≤0.2μm）
3. 多齿分度台： Moore 1440型（角度分度精度±0.1″）
4. 电子水平仪： WYLER Clinomic 05（量程±0.5°，分辨率0.001°）
5. 精密温控平台： Newport TBX-1（控温精度±0.01℃，平台平面度0.3μm）
6. 标准分辨率板： USAF 1951（最小线宽0.35μm）
7. 准直光源： Trioptics OptiCentric（出射光束平行度≤2″）
8. 频闪照明系统： CCS FSC-1000（闪光持续时间1μs，频率1000Hz）
9. 微位移平台： PI P-541.3CD（行程100μm，定位精度5nm）
10. 光谱辐射计： Konica Minolta CS-2000（亮度测量范围0.001-20000cd/m²）
11. 振动分析仪： Bruel & Kjaer 3050-B-060（频率范围0.5Hz-20kHz）
12. 激光跟踪仪： Leica AT960（最大测距80m，空间精度±15μm+6μm/m）
13. 标准球列阵： 碳化钨材质（直径10mm，球度误差≤0.1μm）
14. 数字示波器： Keysight DSOX1204G（带宽200MHz，采样率2GSa/s）
15. 环境参数记录仪： Rotronic CL11（温度精度±0.1℃，湿度±0.8%RH）
北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】
报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期：7~15工作日，可加急。
资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试：支持定制化试验方案。
售后：报告终身可查，工程师1v1服务。
